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受客戶委托，出售一臺Solmates PiezoFlare 800 脈沖激光沉積（PLD）設備。資產(chǎn)位于德國。

產(chǎn)線于約6個月前停止生產(chǎn)

立即接受報價！

主要設備：

- Solmates PiezoFlare 800脈沖激光沉積（PLD）設備

年份：2013

設備儲存于100級潔凈室中

原用于MEMS生產(chǎn)

最大晶圓 150mm — 200mm.  

- 制程：

壓電MEMS: PZT (PbZrTiO3, LaNiO3)

氣體敏感性：金屬氧化物 (CuO, SnO2, ZnO, In2O3)

- 主要技術參數(shù)：

基板尺寸：6" -- 8"

4 targets，可調(diào)

最高襯底溫度：800 °C

制程壓力：0.5 –0.005 mbar with O2, Aror N2

液滴捕集器，減少晶圓表面微粒

248 nm KrF-laser (100 Hz, 700 mJ/pulse, 25 ns pulse duration)

部分現(xiàn)場照片如下，您可點擊圖片進入我司全球網(wǎng)站了解詳情并參與交易：

如需看貨，請?zhí)崆邦A約

項目聯(lián)系人：

Andy Hackett

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