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出售一臺(tái) Nikon NSR-TFHi12C 200mm光刻機(jī);

資產(chǎn)位于：英國(guó)，北愛(ài)爾蘭

主要參數(shù)：

Maker：Nikon

Model：NSR-TFHi12C

Inventory ID：RA008355/IA002628

Vintage；1998

S/N：1210015

Wafer Size：8inch (Notched)

Machine S/N：1210015

Pre Alignment2 ：Yes

Temperature：20.5 Celsius

Wafer Loader：Type 2

Chamber Type：S16

Chip Leveling：Yes (field levelling)

NA Variable System：Yes

In-Line：No

Reticle Size：8 inch

Wafer Carrier Table：Left & Right

Reticle microscope：Fixed

Alignment sensor：LSA, FIA

MAX Field Size：22mm x 22mm

Rack Type：Normal(Right)

Computer Type：NESTV

PPD：Yes

Body-OP Ruck cable：3m(normal)

Reticle Barcode Reader：Yes

Wafer edge Exposure：Yes

Lamp Power：2 KW

Reticle Loader：Standard(13 Slot)

Illumination：SHRINC3

Extended R-Library：Yes

Signal Tower：No

Reticle Case：6 Inch Standard

NSR_75 Lens Data請(qǐng)參見(jiàn)下方附件；

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